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1.*个引进了美国霍尼韦尔真空压力传感器使得机器在智能控制下有了可靠的依据 2.采用舱体、管路、阀体全部为不锈钢材料,称之为全防腐型 3.该仪器实现了手动,自动两种模式任意切换的工作方式
等离子清洗机YZD08-5C;是在原A型机与B型机基础上的升级换代产品。原A型机除舱体外,其管路、阀体均为铜质材料,对于外加特殊气体而言缺乏防腐功能。
等离子清洗机-YZD08—2C;是在原A型机与B型机基础上的升级换代产品。原A型机除舱体外,其管路、阀体均为铜质材料,对于外加特殊气体而言缺乏防腐功能。
小型等离子清洗机YZD08—5C;是常规的小批量生产用机型,,特别适用于LED/LCD产业和太阳能硅片领域除具有全防腐的特点外,引进了美国霍尼韦尔真空压力传感器,使得机器在智能控制下有了可靠的依据
转鼓等离子清洗机/SAT-5D;采用皮拉尼真空技术,实时检测和显示样品仓的真实真空度,具有1Pa的真空分辨率,能够方便的接入MFC气体流量控制仪,实现对气体流量和真空度的精准控制和监测。